氬離子研磨系統(tǒng)

CleanMill氬離子研磨系統(tǒng)傳統(tǒng)的機(jī)械研磨方式制備樣品斷面，斷面不可避免的存在機(jī)械損傷和磨料嵌入樣品引起的污染。使用氬離子束切割樣品制備，可以制備出沒有機(jī)械損傷和表面污染的平整斷面，非常適用于 制備電池材料和部件的斷面樣品，從而進(jìn)行掃 描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)表征分析。Thermo Scientific CleanMillTM 為電池?cái)嗝鏄悠诽峁┝送晟频臍咫x子束研磨方案，可實(shí)現(xiàn)對電子束敏感材料和空氣敏感材料本真狀態(tài)下的SEM成像和表征分析。

Thermo  Scientific CleanMillTM 氬離子束斷面研磨系統(tǒng)（BIB-CP）旨在為精確的表征提供優(yōu)質(zhì)高效的樣品制備方案。其標(biāo)配的 16 keV 超高能離子源在保證研磨質(zhì)量下具有更強(qiáng)的濺射能力和更高的研磨效率。同時(shí)，低能量離子源可實(shí)現(xiàn)對具有精細(xì)結(jié)構(gòu)和易受離子束輻照損傷樣品的無損精拋和清潔。

CleanMill氬離子研磨系統(tǒng)，諸多電池材料和部件具備電子束敏感和空氣敏感的特性。Thermo Scientific CleanMillTM 與 CleanConnectTM 兼容，使得 Thermo Scientific IGST 工作流程完善。CleanConnect 樣品轉(zhuǎn)移系 統(tǒng)提供了一套集成化解決方案，允許樣品在惰性氣體 / 真空下快速轉(zhuǎn)移至電子顯微鏡樣品倉內(nèi)。這種真空聯(lián)鎖解決方案采用直徑達(dá) 25mm 的標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)，極大地簡化了不同樣品在 SEM/DualBeam 系統(tǒng)轉(zhuǎn)移的工作。樣品可在手套箱內(nèi)裝載至 CleanConnect 樣品倉內(nèi)，進(jìn)而通過 CleanConnect 轉(zhuǎn)移至 CleanMill 中進(jìn)行斷面樣品制備。隨后，將CleanMill中制備好的 斷面樣品采用CleanConnect 轉(zhuǎn)移至 Thermo Scientific SEM 中進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)表征。整個(gè)過程中樣品都處于惰性氣體保護(hù)狀態(tài)以保證其斷面完整性。該工作流程極大地簡化了樣品轉(zhuǎn)移工作，提高 了結(jié)果獲取速度，實(shí)現(xiàn)了在本真狀態(tài)下對空氣敏感材料的結(jié)構(gòu)表征。

關(guān)鍵優(yōu)勢

•高能量離子槍可實(shí)現(xiàn)快速研磨和拋光

•采用專用90°樣品臺(tái)制備截面樣品

•自動(dòng)化參數(shù)設(shè)置和操作，可實(shí)現(xiàn)樣品旋轉(zhuǎn)和擺動(dòng)操作

•可進(jìn)行空氣敏感材料的樣品制備，使得賽默飛惰性氣體樣品轉(zhuǎn)移工作流程（IGST）更為完善

•配備高分辨CMOS相機(jī)和觸控屏，可實(shí)時(shí)觀察樣品研磨過程

•可選配低能量離子槍，實(shí)現(xiàn)對具有精細(xì)結(jié)構(gòu)和易受輻照損傷樣品的 無損精拋和清潔。

•可選配冷臺(tái)，在進(jìn)行電子束敏感樣品的冷凍研磨時(shí)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)液氮加注

Thermo Scientific CleanMill 與 CleanConnect 和全套 IGST 工作流程兼容，實(shí)現(xiàn)對空氣敏感材料在本真狀態(tài)下的表征分析。

規(guī)格參數(shù)

離子槍選擇

標(biāo)配超高能量離子槍，加速電壓連續(xù)可調(diào)

• 2 – 16 keV

• 離子束電流范圍：20 – 500 A

• 濺射速率：> 500 m/hr

• 選配低能量離子槍

• 加速電壓：100 eV – 2 keV

• 自動(dòng)化的離子源設(shè)置

成像系統(tǒng)

帶有固定X10放大功能的高分辨CMOS相機(jī)，其數(shù)字放大功能可實(shí) 現(xiàn)連續(xù)調(diào)至X120

樣品臺(tái)

樣品傾斜：0°到180°，0.1°增量 樣品旋轉(zhuǎn)：面內(nèi)旋轉(zhuǎn) 360°

樣品擺動(dòng)：面內(nèi)搖擺，從±1°到 ±180°，1°/步

樣品托種類和可承載尺寸

標(biāo)準(zhǔn)型表面拋光樣品托

•承載樣品尺寸?30 mm x 15 mm CleanConnect兼容樣品托：

•表面拋光

o承載樣品尺寸?28 mm x 3 mm

o可互換樣品托可承載樣品尺寸?20.5 mm x 8.5 mm

•截面拋光

o 90° 樣品托：承載樣品尺寸 10 mm (長) x 10 mm (寬) x 3 mm (高)

真空系統(tǒng)

•無油隔膜泵和渦輪分子泵，帶（皮拉尼/潘寧）真空計(jì)

氣體供應(yīng)體統(tǒng)

•氬氣 （純度99.999%）

•高精度氣體流量控制系統(tǒng)

計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)

•易操作的觸控屏圖形用戶界面（Touch GUI）

o 系統(tǒng)設(shè)置

o 研磨參數(shù)設(shè)置

o 操作控制

• Touch GUI采用Windows 11系統(tǒng)

可選配件

• 帶有自動(dòng)加注功能的液氮制冷臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)無間斷冷凍磨拋

• 樣品調(diào)節(jié)定位裝置

• 其他備件和易耗損件

• 適用于可加載CleanConnect的手套箱端口裝置

保修和培訓(xùn)

• 1年保修

• 設(shè)計(jì)簡化，僅需簡單培訓(xùn)

• 包含使用說明的用戶手冊

安裝要求

• 預(yù)留安裝端口 (其他附件不能共用此端口)

• 環(huán)境：與普通顯微鏡的要求相同，見預(yù)安裝手冊

• 儀器右側(cè)必須留有足夠空間，以便使用CleanConnect轉(zhuǎn)移桿

• 系統(tǒng)尺寸： 70 cm (寬) x 70 cm (深) x 61 cm (高)

由CleanMill制備的NMC陰極極片截面，采用Apreo 2S成像